罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。
罗茨真空泵的性能特点
1、在较宽的压强范围内有较大的抽速；
2、起动快，能立即工作；
3、对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；
4、转子不必润滑，泵腔内无油；
5、振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；
6、驱动功率小，机械摩擦损失小；
7、结构紧凑，占地面积小；
8、运转维护费用低。
因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。
